真空成膜機の排気工程とメカニカルポンプ

真空成膜機の排気工程とメカニカルポンプ

排気プロセスは次のとおりです。最初に機械式ポンプが真空チャンバーを 2.0*10-2PA 未満の低真空状態まで排気します。これは、その後の拡散ポンプの真空引きの前提となります。その後、拡散ポンプが真空チャンバーを排気すると、機械式ポンプが油の拡散に協力します。このようにポンプは直列に接続され、ポンピング動作を完了します。

メカニカルポンプ: バッキングポンプとも呼ばれるメカニカルポンプは、最も広く使用されている低真空ポンプです。 シール効果を維持するためにオイルを使用し、機械的方法に依存してポンプ内の吸引キャビティの容積を連続的に変化させてポンプで汲み上げる容器を作成します。 内部のガスの体積は継続的に膨張して真空になります。

真空塗装機の排気システムは塗装機の真空システムの重要な部分です。

真空本体 - 真空チャンバーは加工製品の要件に応じて異なり、真空チャンバーのサイズも異なります。 現在、最もよく使用されている直径は 1.3M、0.9M、1.5M、1.8M などです。チャンバーはステンレス鋼で作られています。 錆びた、固いなどの真空チャンバーの各部には接続バルブがあり、各エアポンプを接続するために使用されます。

補助排気系：排気系は塗装機の真空系の重要な部分であり、主にメカニカルポンプ、ブースターポンプ（主にルーツポンプを導入）、油拡散ポンプで構成されています。 この排気システムは「拡散ポンプ＋メカニカルポンプ＋ルーツポンプ＋極低温コールドトラップ＋ポリコールド」で構成されています。

真空成膜機の原理と各部の分析

真空塗装機は、真空状態を作り出すための真空装置として現在最も広く使用されています。 通常、真空チャンバー、真空ユニット、電気制御キャビネットの 3 つの部分で構成されます。 ポリコールド」組成物。

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