真空コーティング機は、相互に動作させるためにさまざまなポンプと組み合わせる必要があります。

真空コーティング機は、相互に動作させるためにさまざまなポンプと組み合わせる必要があります。

真空ポンプを選ぶ際には、まず真空ポンプの運転中に発生する振動がプロセスや環境に影響を与えるかどうかに注意してください。 プロセスに影響を与える場合は、振動対策を講じるか、別の真空ポンプを選定する必要があります。 選択するときは、圧送するガスの組成を知る必要があります。 選択的なポンピングが必要な場合、1 つのポンプでは要件を満たすのに十分ではない可能性があり、連携して動作するにはさまざまな異なるポンプを組み合わせる必要があります。 真空塗装装置の塗装にオイルを必要としない場合には、オイルフリーポンプを選択する必要があります。

真空ポンプの価格やメンテナンスコストも重要なポイントの一つです。

真空コーター冷却はすべてのソース (マグネトロン、マルチアーク、イオン) に必要です。

絶縁体のマグネトロン反応性スパッタリングは簡単そうに見えますが、実際の操作は難しいです。 主な問題は、反応が部品の表面だけでなく、アノード、真空チャンバーの表面、ターゲットソースの表面でも起こることです。 これにより、消火、ターゲット源およびワークピース表面のアーク放電などが引き起こされます。 ドイツの Leybold が発明したツイン ターゲット ソース技術は、この問題をうまく解決します。 原理は、一対のターゲットソースが互いのカソードとアノードとなり、それによってアノード表面の酸化または窒化がなくなるというものです。 エネルギーの大部分が熱に変換されるため、すべての発生源 (マグネトロン、マルチアーク、イオン) に冷却が必要です。 冷却がないか、冷却が不十分な場合、この熱によりターゲットソースの温度が 1,000 度以上に達し、ターゲットソース全体が溶けてしまいます。 。

www.スーパービーター.com