高温焼鈍炉温度計の温度校正技術の解説

高温アニール炉は、温度を正確に制御するために、加速デジタルPLD温度コントローラー、熱電対、高温計、熱源で構成される閉ループ制御システムを採用していると報告されています。 異なる領域のハロゲンランプを協調制御することにより、温度制御プロセス中に各領域の温度差を補償し、基板上の異なる領域の温度を変化させずに維持することができる。 キャビティの底部に取り付けられているため、高温計は基板の背面からの放射線のみを受け取ることができ、ランプからの放射線は受け取ることができません。 したがって、高温計は基板の温度を正確に測定できます。 このパイロメーターの温度校正原理は次のとおりです。
1. 高温計の概要:
今回紹介する高温計は熱放射型光学式高温計です。 高温計が測定対象物からの赤外線を受信すると、その光信号はフィルタリング、光電変換、増幅されてアナログ信号となり、センサーの信号インターフェース回路モジュールに送信されます。 このモジュールは信号を A/D 変換し、コンピュータが認識できるデジタル信号に変換します。 コンピュータにフィードバックされるデジタル信号は、以下の本文ではパイロメーター フィードバック値と呼ばれます。
2. 温度校正テーブル:
関連法則によれば、物体の温度はその放射と分光放射率に関係します。 高温アニール炉の場合、パイロメーターが受け取る放射線の量は主に、基板の材料、ドーピング、表面の自然酸化層、基板温度などの要因に依存します。 同じタイプの基板 (つまり、同じ材料、ドーピング、および表面の自然酸化層を持つ基板) の場合、パイロメーターが受け取る放射線の量は基板温度に関係します。 したがって、同じ種類の基板の場合、パイロメーターのフィードバック値は基板温度と 1 対 1 に対応します。 この対応関係は温度校正データを構成し、複数の基板温度と高温計からのフィードバック値の間の関係データを保存するために温度校正テーブルが使用されます。 異なる温度は、パイロメーターの異なるフィードバック値に対応します。 高温アニール炉のコンピューターは、パイロメーターからフィードバックされた信号値と温度校正テーブルに基づいて、基板の実際の温度を計算できます。