真空コーターの粒界から電子が放出される

真空コーターの粒界から電子が放出される

金属イオンはカソードの表面に引き寄せられ、空間電荷層を生成する可能性があります。 この間に引き起こされる強い電場により、カソード表面上の小さな仕事関数を持つ微小亀裂または粒界から電子が放出されます。

真空成膜機の真空内壁とターゲットソースアノード

何度も衝突した後、電子のエネルギーは徐々に減少し、磁力線の束縛から解放され、最終的に基板、真空チャンバーの内壁、およびターゲットソースのアノードに落下します。 高電圧電界の加速下で、Arプラスイオンがターゲットに衝突してエネルギーを放出し、ターゲット表面の原子がArプラスイオンの運動エネルギーを吸収して元の格子から離脱します。そして中性のターゲット原子はターゲットの表面から逃げます。 基板まで飛行し、基板上に薄膜を堆積します。

真空コーター マグネトロンスパッタリング装置

マグネトロン スパッタリング システムでは、100-1000 ガウスの強力な磁石がカソード ターゲットの後ろに配置され、真空チャンバーにはガスのキャリアとして圧力 011-10 Pa の不活性ガス (Ar) が充填されます。放電。 高電圧の作用下で、Ar 原子は Ar プラスイオンと電子にイオン化されます。 電子は加速して基板に向かって飛行する過程で、電界に垂直な磁界の影響を受け、ターゲット表面に近いプラズマ領域で電子を偏向させて束縛します。 ターゲット表面に沿ってサイクロイド状に進み、移動中に連続的にAr原子と衝突し、大量のArプラスイオンをイオン化します。

非常に高い硬度と耐摩耗性を備えた真空コーター

1. コーティング超硬合金は、表面のコーティング材が非常に高い硬度と耐摩耗性を有するため、ノンコート超硬合金に比べて切削速度が速くなり、加工効率が向上します。 同じ切削速度での工具耐久性が大幅に向上します。

2. コーティング材と被加工材との摩擦係数が小さいため、コーティング刃はノンコーティング刃に比べて切削抵抗がある程度低減されます。

3. コーティング刃を加工すると加工面の品質が良くなります。

4. 総合的な性能が優れているため、コーティングされたブレードはより優れた汎用性を備えています。 コーティングされたグレードのブレードには幅広い用途があります。

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