真空熱圧縮ボンディングマシンの操作ガイドと予防策
伝言を残す
真空ホットプレスボンディングマシンは、PMMA、PC、COCなどの硬質プラスチックオーガニックチップを密閉するために使用されます.;ガラス、シリコンウェーハ、ウェーファー、サファイア、クォーツなどの基質の中程度および低い温度結合の場合.実験用真空ホットプレスの最高温度は300度、シールされた製品の最大サイズは230*200mm、最大厚さは140mm、{6ハードプラスチックマイクロフルイドチップを処理するための機器.
vacuumホットプレスの電源スイッチをオンにする前に、作業インターフェイスの制御スイッチがオフ状態にあることを確認します.ガス回路を接続し、シリンダーの動作をテストし、コントロールシリンダーのスイッチを押してから.を押します.シリンダーは、ガス回路の場合、ガス回路が均等であることを確認します。暖房モジュールが機能しません。圧力計と加熱モジュールまたはサーマルセンサーとの接続が正しいかどうかを確認するか、会社またはメンテナンスステーションの技術者にすぐに連絡してください.
真空ホットプレスボンディングマシンの動作は、次の手順に厳密に従う必要があります
（1）真空ホットプレスボンディングマシン、真空ポンプ、エアコンプレッサーの電源コードが正しく接続されているかどうかを確認し、各部品のガスパイプラインが正しく接続されているかどうかを確認し、システムの各部分のバルブとスイッチを閉じます.}
（2）作業プラットフォームの中央（または対応するフィクスチャ）にチップを接着し、シリンダーのストロークを調整し、ハッチを閉じ、真空ポンプをオンにし、ホットプレス.の内側の空気を取り外します
（3）シリンダー制御スイッチを押して、チップの圧力を決定します.
（4）温度設定：上下のプレート温度制御ノブを必要な温度に調整.
（5）上下のプレート温度制御スイッチを押して、チップの加熱と結合を開始.
（6）ホットプレスの結合が完了したら、上部と下部プレート温度制御スイッチをオフにして、加熱プレートを停止します.
（7）温度が自然にプロセスパラメーターに冷却された後、内部と外部の圧力のバランスをとるために空気を入れてください
（8）ハッチ、空気圧空気冷却モードを開き、冷却速度を高速化する
（9）温度が50度未満に低下したら、シリンダーボタンを押し、シリンダーが持ち上げられ、結合が完了します
真空ホットプレス炉の手順と注意事項
1.チラースイッチをオンにする準備をします。そうしないと、低水圧.のために機器が警告します。
2.電源スイッチをオンにする前に、各スイッチのステータスを確認する必要があります。
1.加熱モードは「手動」ギアに設定する必要があり、電源調整は底部に対して反時計回りに回転する必要があります。
2.圧力「上昇停止」トグルスイッチが停止位置にあるかどうか、および圧力ポテンショメーターが最小に回転するかどうか。上記のチェックが正しい後、最初にメインパワースイッチをオンにしてから、セカンダリパワースイッチをオンにします.
3.炉を開き、サンプルに入れます
使用する前に{.}を使用していない場合、炉は通常真空状態です。最初に炉の真空状態を観察する必要があります{.は、最初に炉の体をゆっくりとゆっくり膨らませて、空気吸気バルブを介してゆっくりと圧力を膨らませ、その後、炉のカバーを開けて炉に入って、2つのサンプルを使用して、2つのサンプルを使用して、forになります。ボディ.
圧力なしで焼結している場合は、内側と外側の断熱カバーの両方を覆う必要があることを忘れてはなりません。そうしないと、温度が上昇しない可能性があります。焼結したい場合は、実験を実施する前に、最も外側の断熱カバーの中央にある小さなカバーと内側の断熱カバーを取り外す必要があります.
注：サンプルを配置するときは、加熱要素と炉シェルの間の短絡を避けるために加熱要素に触れないように注意してください.
4.加熱プログラムを設定します
1.加熱：通常、プログラムによって設定されます。最大加熱速度は10度 /min .です。実験の初期段階で迅速に加熱したい場合は、加熱モードを「手動」に設定し、電源をゆっくりと調整して電流をゆっくりと加熱することができます。一般に、200度以下では、最初に手動で熱くすることができます。そうしないと、温度制御が不正確になり、炉温度の赤外線自動制御を使用できます{.
注：加熱は真空下で実行する必要があります。二次定格電流が700Aを超えてはならないという現在のメーターの兆候に注意してください.
2.冷却：
プログラムを介して設定するか、暖房を直接オフにして単独で冷却することができます{.注：冷却プロセス中に水を停止することは許されません。
V .加圧プログラムを設定します
1.前圧化：加熱する前にプレプレス化する前に実行する必要があり、圧力設定範囲は通常1.0-1.5 MPAの間にあります。プリプレス化は手動で達成できます.
2.加圧：温度が所定の温度に上昇した後、サンプルが加圧された.通常、プログラムはサンプルを自動的に加圧するように設定されています.機器が達成できる最大圧力値は16MPaです。
A：手動加圧：加圧ポテンショメーターを回転させ、変位の表示を同時に観察します{.変位の変化が非常に小さい場合、上下のパンチがサンプルと下部のパンチに接触したことを意味します。
B：自動加圧：最初に機器に必要な圧力を設定します{.必要な圧力と測定された圧力が基本的に同じ場合、「アップダウン」のスイッチをアップ位置に変換し、変位と圧力の変化を観察し、上昇後に上昇した後に{2}}の上昇後に圧力維持と圧力安定化機能を自動的に実現します。位置.底に達した後、「アップストップダウン」スイッチを停止位置{.に変換して、油圧ポンプ.をオフにします
注：加圧されたり荷降ろししない場合、圧力を負の値に設定し、油圧ポンプを停止する必要があります{.使用していないときにシリンダーを停止位置に設定する必要があります。
真空ポンプ
6つの電気炉の掃除手順：
真空ゲージスイッチをオンにします
1.低真空：すべての真空バルブを閉じて、機械ポンプを開始し、正常に動作するのを待ち（1-2 minについて）、炉のボディに通じる低真空バルブ、つまり上部蝶のバルブ、炉の体を脱同種します。
2.高真空：下部蝶のバルブを開き、拡散ポンプを避難させ、真空度が15 PA未満に達したら、拡散ポンプをオンにして予熱して.を約45分後に、拡散ポンプは動作します。真空度が1 . 33×10-1 PAを超えるまで、サンプルを加熱するために加熱ボタンをオンにします。
A：真空ゲージには、2つの範囲ゲージ、低真空範囲1 . 0×105-1.0×10-1;高い真空範囲1 . 0×10-1-1.0×10-5}}}} 10-5} 10-5 {.の範囲の切り替えを開始します。空気を埋める前に、真空ゲージスイッチをオフにする必要があることに注意してください。注：アッパーバタフライバルブとメインブロッキングバルブを同時に開くことはできません。
第七に、焼結のために高純度のアルゴンまたは窒素を渡すことができます.
インフレ圧力の範囲は、通常の圧力から7000Paまでのものです.
実験の後8番目
1.使用していない場合は、炉の本体を真空状態に保持する必要があります（機械式ポンプ蝶の蝶バルブを開いて炉の体を約1時間真空にし、炉体の後ろの圧力計は-0.1}未満を示します）。
2.チラースイッチをオフにします。
3.掃除のために真空炉の観測ガラス（特に赤外線機器の観測ウィンドウ）を取り外します。
4.電気炉の表面をきれいにしてきれいに保ちます。
5.実験帳.で関連するレコードを作成します
6.出発する前に、水、電気、光、エアコンの窓が閉じられているかどうかを確認してください.それらが正しいことを確認した後、.を離れる前にドアをロックしてください
