真空成形機 電子ビームコーティング機 コーティング材料

真空成形機 電子ビームコーティング機 コーティング材料

電子ビーム蒸着機は、高真空下で熱電子を放出し、これを加速陽極で加速して莫大な運動エネルギーを得て蒸着材料に衝突させ、その運動エネルギーを熱に変換して蒸着材料を加熱し、電子ビーム蒸着を実現します。コーティング。 電子ビーム塗布装置は、電子を放出する熱陰極、電子加速電極、陽極となるコーティング材で構成されています。 電子ビーム蒸発源のエネルギーを高度に集中させることができるため、コーティング材料が局所的に高温になり蒸発します。 電子ビームの出力を調整することにより、特に高融点、高純度の金属および化合物材料の場合、コーティング材料の蒸発速度を簡単に制御できます。

真空成形機の電子ビーム加熱により高い磁束密度が得られます

(1) コータ内での電子ビーム加熱方式と従来の抵抗加熱方式を比較した。 電子ビーム加熱により高い磁束密度が生成され、高融点材料の蒸発が促進され、蒸発速度もある程度増加します。

(2) 電子ビームコーティング機の稼働中、蒸発する原料は水冷銅るつぼに入れられます。これにより、材料の汚染を防ぎ、高純度の膜を生成できます。

真空成形機用イオンクリーニング装置 電子ビーム塗装機

電子ビームコーター装置はカウフマンイオン源を採用し、電界と電圧は1.5KV、フィラメントが陰極、機械部分が陽極、陽極は接地されています。 動作原理は、アルゴンガスがイオン化室に注入され、ガスのアルゴン原子がアーク放電によってイオン化されてプラズマになります。 負イオンビームは、プラズマに対して正の電位を有する電極の作用下でプラズマから抽出される。 電場の作用により、0.5-5 kev のエネルギーを持つアルゴンマイナスイオンが陰極から陽極に移動し、高速で機械加工部品の表面に衝突します。 アルゴンイオンの直径はわずか 10 分の 1 ナノメートルです。 ワークピースの表面にイオンビームが衝突すると、アルゴンイオンの運動エネルギーによってワークピースの表面の原子がスパッタリングされます。 ワーク表面の汚れを除去する、つまりワークをイオンクリーニングするという目的を達成する。

フィルム材料の供給機構と加工部品の供給と回転構造も、電子ビームコーティング装置の不可欠な要素です。これら 2 つの機構の動作原理と主要な構成要素は基本的に CNC 工作機械や CNC 工作機械の動作原理と同じであるためです。一般的な工作機械でも。

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