真空成膜機 蒸着真空技術要件
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真空成膜機 蒸着真空技術要件
1. 装置の構造は、レイアウトが合理的で、外観が美しく、操作が容易で、保守が容易である必要があります。
2. 機器内の静的および動的シールの構造とサイズは、GB/T 6070 および JB/T 1090-1092 の規定に準拠する必要があります。
3. 低真空配管、高真空配管、コーティング室にはそれぞれ真空計を設置し、各部の圧力を測定してください。
4. 装置の真空ユニットが主ポンプとして拡散ポンプを使用している場合は、拡散ポンプの空気入口にバッフルまたはコールドトラップを設置してください。
5. 塗装室には観察窓を設け、塗装工程中に放射線を発生する設備の観察窓には放射線防止レンズを設置すること。
6. ワークベーキング装置を備えた装置には、温度測定電極または温度測定装置が必要です。
7. ワークホルダー回転機構の回転速度は製品設計要件を満たす必要があります。
8. イオン衝撃装置またはブロードビーム低エネルギーイオン源装置を備えた装置は、製品設計要件で指定されたパラメータ内で 30 分以上連続して安定して動作できる必要があります。
9. タングステン線を蒸発熱源として使用するヒーターは、蒸発材料が正常に蒸発できるようにする必要があり、ヒーターの形状が蒸発プロセス中の通常の蒸発に影響を与えてはなりません。
10. 装置の蒸発源の作動状態は安定しており、調整および制御が容易である必要があります。 各種蒸発源（抵抗蒸発源、電子ビーム蒸発源、イオンビーム蒸発源、レーザー蒸発源、誘導蒸発源など）の技術的要件は、対応する製品規格に従って規定する必要があります。
11. 低電圧大電流抵抗蒸発源を採用した装置の場合、各蒸発源ヒーターは電圧4V～20V、電流50A～180Aで正常に動作する必要があります。
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