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真空成膜機の複合真空計の電源を投入します。

真空成膜機の複合真空計の電源を投入します。

 

a. 左側のノブ「1」を時計回りに回して、ゾーン 2 の加熱位置を指します。

 

b. 低真空計の「2」の針が時計回りに動きます。 ポインタが 110mA に移動したら、左側のノブ「1」を回してセクション 2 の測定位置を指します。

真空成膜機などの低真空計の「2」の指針が右に移動して0.1Paになったら、ゲージ管のフィラメントスイッチをONにします。

 

a. 送信、ゼロ測定ノブ「9」を回して送信位置を指します。

 

b. 左下のノブ「1」を回して、ゾーン 1 の測定位置を指します。

真空コーター調整ノブ

 

高圧真空計の「5」の指針が5を指すように、点火調整ノブ「4」を回します。

 

送信、ゼロ、測定ノブ「9」を回してゼロの位置を指します。

 

ゼロ調整ノブ「10」を回して、高圧真空計の「5」の指針を0の位置に合わせます。

 

送信、ゼロ、測定ノブ「9」をポイントから測定位置まで回します。

真空塗装機低圧バルブ引き出し

 

低真空計「2」の指針が再び6.7Paまで時計方向に移動すると、低圧バルブが押し込まれます。このとき、左のノブ「1」を回してセクション1の測定位置を指します。

 

真空成膜機に冷却水を流し、拡散ポンプを起動し、40分間加熱した。

 

低圧バルブが抜かれています。 この操作手順を 1 回繰り返します。左下のノブ「1」を回して、2- セクションの測定位置を指します。 低真空計の「2」の指針が時計回りに動きます。 指針が 6.7Pa に移動したら、高圧バルブを開きます (バルブステムが時計回りに回転します)。

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