電気加熱管の電気メッキ スパッタリングの使用

電気加熱管の電気メッキ スパッタリングの使用

スパッタ薄膜は、機能や用途の違いから、機械的機能膜と物理的機能膜の2つに大別できます。 前者には、耐摩耗性、摩擦低減、耐熱性、耐食性などの表面強化膜材料と固体潤滑膜材料が含まれます。 後者には、電気、磁気、音、光などの機能性薄膜材料が含まれます。 Cr、Cr-CrN などの合金ターゲットまたは埋め込みターゲットを使用して、N2、CH4 などの雰囲気で反応性スパッタリング コーティングを実行でき、さまざまなワークピースに Cr、CrN、CrC などのコーティングを施すことができます。 純粋な Cr の微小硬度は 425-840HV であり、CrN は 1000-3500Hv であり、硬度が高いだけでなく摩擦係数も低く、水溶液中のクロムの電気めっきを置き換えることができます。 電気めっきは、鋼の水素脆化、速度低下、および環境汚染を引き起こす可能性があります。 工具や金型の表面にTiNやTiCなどの超硬コーティングを施し、摩擦係数が小さく、化学的安定性が良く、耐熱性、耐摩耗性、耐酸化性、耐衝撃性などに優れています。 工具や金型の動作特性を改善するだけでなく、耐用年数も改善し、一般に工具寿命を 3-10 倍に延ばすことができます。 高温、低温、超高真空、放射線などの特殊な条件下で作動する機械部品は潤滑油を使用できず、軟質金属や層状物質などの固体潤滑剤しか使用できません。 スパッタリング法は、MO2S plus 、メンブレン、ポリテトラフルオロエチレンメンブレンの作製に非常に有効です。 この方法で得られた MO2S は、良好な膜密度、優れた接着性、0.02-0.05 の範囲の摩擦係数を備えています。

スパッタリング法で作製されたポリテトラフルオロエチレンフィルムの潤滑特性は、環境湿度の影響を受けず、大気環境で長期間使用できます。 有望な固体潤滑剤です。 使用温度の上限は50℃で、-260℃を下回ると潤滑性を失います。 MO2Sやポリテトラフルオロエチレンなどのスパッタ膜は、長期保存後の性能変化がほとんどありません。 耐震、警報、防火、安全装置など信頼性が要求される機器や、長期のバックアップや急な使用が必要な機器に最適な固体潤滑剤です。

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