真空成膜機のメインポンプの構成

真空成膜機のメインポンプの構成

塗装装置に主に選ばれるメインポンプはどれですか？ 真空装置は塗装装置業界において非常に重要で、欠かすことのできない装置の一つです。 現在、一般的に使用されている真空システムの構造は、主ポンプと補助ポンプを直列に接続し、さらにバルブ配管と真空測定器を加えた構成が一般的です。 選定するメインポンプは大きく分けてオイル真空方式とオイルフリー真空方式の2種類に分かれます。

真空コーター膜均一性コンセプト

1. 厚みの均一性は粗さとも言えます。 光学フィルムのスケール（つまり、1/10波長、約100Å）では、真空コーティングの均一性は非常に良好であり、粗さは容易に除去できます。 制御度は可視光の波長の1/10以内であり、フィルムの光学特性を損なうことはありません。 ただし、原子層スケールでの均一性、つまり 10 Å または 1A の表面平坦性を達成する場合は、さまざまなコーティングに応じて、具体的な制御要素を以下で詳細に説明します。

2. 化学組成の均一性：つまり、膜内では化合物の原子組成がスケールが小さいため特性にばらつきが生じやすい。 SiTiO3 膜のコーティングプロセスが非科学的であれば、実際の表面の組成は同じではありません。 SiTiO3 ではありませんが、他の比率でも構いません。 コーティング膜は目的の膜の化学組成ではなく、これは真空コーティングの技術内容でもあります。

3. 格子順序の均一性: これにより、膜が単結晶、多結晶、または非晶質のいずれであるかが決まります。これは、真空コーティング技術におけるホットな問題です。

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