真空塗装機のチェーントンネル伝達機構の欠陥は次のとおりです。

真空塗装機のチェーントンネル伝達機構の欠陥は次のとおりです。

１．真空チャンバ間の接続バルブのサイズを大きくする必要があるため、異なる真空チャンバ間の雰囲気が容易に相互に接続され、その結果、コーティングの品質および歩留まりなどが低下する。 2. フレキシブルな構造のため、より高い設計精度と加工レベルが要求され、マッチング不正確になり伝送不良が発生しやすくなります。 真空塗装機の往復ラックとプッシュロッドコンベアの伝達プロセスは、塗装チャンバーの上部またはシャーシ（回転プレートと同じ側）に固定されており、ギアGとラックを往復運動できます。 Ｈプッシュロッド機構７により、回転ワークロッドＡｍが真空チャンバＭの回転ディスクＪｍから真空チャンバＮの回転ディスクＪｎに順次移載される。 ギアとラックによって使用される動力は、真空チャンバーの外側でシャフトが密閉されているモーターによって実現されます。 自転するワークロッドをオービタルディスクから切り離し、次のオービタルディスクに進入させるため、オービタルディスクと回転軸との間にオープン接続を採用しています。 チャンバー M は次のコーティング チャンバー N に転送されます。

チェーン伝動機構に比べてリジッド伝動機構のため、噛み合い不良の心配がありません。 同時に、必要な移行スペースが小さいため、真空チャンバー間のバルブの切り替え時間を節約でき、異なる真空チャンバー間の雰囲気をさらに低減できます。 絡み合った。 したがって、コーティングプロセスの安定性と信頼性、最終製品の歩留まり、エネルギー消費量とコストが大幅に改善されます。

経済の発展と生活水準の向上に伴い、人々は時計ケース、時計ストラップ、衣類、照明、メガネフレーム、内外装装飾品、ハードウェアバッグ、携帯電話ケース、携帯電話スクリーン、衛生用品などを微調整することを好みます。 、食品包装およびその他の装飾品。 カラフルに装飾されています。

真空コーティング機のコーティング技術を集積回路製造に応用

トランジスタ回路の保護層（SiO2、Si3N4）と電極パイプライン（ポリシリコン、アルミニウム、銅およびその合金）は、主にCVD技術、PVCD技術、真空蒸着金属技術、マグネトロンスパッタリング技術、高周波スパッタリング技術で作られています。 蒸着は集積回路を準備するための中心的なスキルの 1 つであることがわかります。

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