真空成膜機の異常を音と光で警報

真空成膜機の異常を音と光で警報

インフレータブル方式では、質量流量計、フロート流量計とニードルバルブおよび対応する膨張バルブを選択でき、またマルチチャネル膨張パイプラインと対応する流量パラメータを選択できます。

焼成する構造に応じて、焼成温度、材料、および対応する機器測定を提案します。

装置の特性に応じて、手動、半自動、全自動、また​​はそれらの組み合わせの制御方法を選択できます。

真空槽本体、拡散ポンプの欠相、水不足、気圧、電源負荷の過電圧、過電流などの異常を音と光で警報する万全の警報システムです。

真空塗装機 真空測定オプション デジタル

抵抗蒸着（タングステン線、モリブデンボート、グラファイトボート）マグネトロン源（同軸円筒形マグネトロン源、円筒形平面マグネトロン源、角形平面マグネトロン源など）など、プロセス要件に応じてめっき方法と形状を選択します。ターゲットの材質とサイズ、マルチアーク源（直径Ф60、Ф80のターゲット、空気圧および電気アーク点火など）、真空測定はデジタルインテリジェント真空計とその高品質測定ゲージ、および自動などのその他の測定機器を選択できます膜厚測定は角形抵抗測定器や透過率計などをお選びいただけます。

真空成膜機の速度範囲と回転精度

1. 炉本体はステンレス鋼、炭素鋼またはそれらの組み合わせによる二層水冷構造を選択できます。

2. プロセス要件に応じて、さまざまな仕様とタイプの塗装装置を選択します。 種類としては、抵抗蒸着、電子ビーム蒸着、マグネトロンスパッタリング、マグネトロン反応性スパッタリング、イオンプレーティング、ホローカソードイオンプレーティング、マルチアークイオンプレーティングなどがあります。

3. ジグの動作形式には、回転、公転、公転＋回転があります。 ユーザーは、基板のサイズと形状に応じて、対応する要件を提案できます。 回転速度範囲と回転精度: 通常の調整可能な可変周波数速度調整。

4. 真空システムは、機械式ポンプ、拡散ポンプ、オイルブースターポンプ、増圧ポンプ、ルーツポンプ、るつぼホイール分子ポンプ等と、それらに適合する各種空圧式、手動式、電動式バルブ、パイプライン等で構成されます。

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