単結晶炉黒鉛部品の洗浄

単結晶炉黒鉛部品の洗浄

1) グラファイト部品の洗浄は指定の洗浄室で行い、清掃用品（真空ブラシ、ペーパータオル、真空チューブ、研磨布、シリコン粒子除去用の専用工具、グラファイト部品用クリーンカートなど）を準備してください。 、手袋、防塵マスクを着用する必要があります。 清掃テーブルとその周囲の環境を清掃します。

2) 各種グラファイト部品をバキュームブラシで汚れがないことを確認するまで順番に清掃します。 溝や界面などの揮発性物質を吸収しやすい部分は、研磨布で丁寧に磨き、掃除機で掃除してください。

3) 掃除するときは、グラファイト部品が損傷していないか、シリコンが粘着していないか注意してください。 損傷して粘着性のあるシリコンは、適時に交換して廃棄する必要があります。

4) 操作中にグラファイト部品が損傷しないように、慎重に扱ってください。

5) 洗浄したグラファイトパーツを、あらかじめ用意しておいたきれいなステンレス台車に置きます。 ステンレス台車は重ねずにゆっくりと移動させてください。

6) 清掃後は、指定されたゴミ置き場にゴミを捨て、清掃台や周囲の環境を清掃してください。

単結晶炉真空ポンプオイルの点検・交換

ａ． メインポンプと真空ポンプのボールバルブを必ず閉め、オイルドレン単結晶炉にメンテナンスカードを掛け、廃油バレルを真空ポンプのドレン口の下に置き、真空ポンプのオイルドレンスイッチをONにしてください。上下室のオイル排出後、上下室のオイルドレンバルブを閉じてください。 , 廃油は指定のドラム缶に入れてください。

b. 真空ポンプを清掃し（炉 5 台に 1 回）、スパナを使用して真空ポンプのサイド カバーを開け、適切な位置に置き、タオルを使用して真空ポンプ キャビティ、サイド カバー、および炉内のオイル フィルターを徹底的に清掃します。下部の空洞。 清掃後はフィルターを取り付けてください。 , サイドカバーを取り付けます。 サイドカバーの開閉や取り付けの際は、サイドカバーやオイルシールの破損、オイル漏れに注意してください。 ポンプキャビティ内に紙くずやその他の異物を放置しないでください。放置するとオイル回路が遮断され、真空ポンプが詰まる原因になります。 真空ポンプの掃除で出たゴミは指定のゴミ箱に捨てられます。

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