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精製炉、クラス100、クラス1000無塵精製炉、半導体実装炉

 

精製炉、クラス100、クラス1000無塵精製炉、半導体実装炉

高温かつ酸素のない真空条件下での新素材の作業に適しています。 高温アニール、高温乾燥処理、自動車産業における半導体オプトエレクトロニクス部品、オプトエレクトロニクス半導体プロセス

ダストフリー精製オーブンとは、高温高効率フィルターを使用して往復サイクルを通じて空気中の粒子を濾過し、オーブンチャンバー内の粒子の量を徐々に浄化してプロセス要件を満たし、製品の品質を確保することを指します。 環境中の粒子状物質量の要件はプロセス要件に応じて異なり、数千、数百のレベルに分類できます。 半導体マイクロエレクトロニクスのパッケージング、新材料のテスト、ディスプレイ基板プロセスで一般的に使用されます。 新しい板金溶接加工技術を採用し、工業グレードのインテリジェント精密温度制御技術と組み合わせ、環境に優しい省エネ設計を採用、輸入された高温耐性フィルター、優れた機器密閉性、高い機械強度、高い清浄度、簡単な操作、高い安定性、安全性、および標準化された一体構造ボックス本体に準拠しています。 シンプルな操作、制御システムの高い自動化レベル、安定したシステム動作、および故障のない長い動作時間という利点があります。

ろ過レベル99.95% -99.999% @ 0.3umの高温高効率フィルターを採用。 輸入高温耐性超極細繊維コア材料、連続耐熱温度300度、ステンレス鋼外枠、アルミ箔絶縁層、輸入高温セラミック接着シールを装備。 ドアフレームにはグラスファイバー製の高温シールストリップが装備されています。 装置の電源を入れると熱風循環システムが起動し、熱風循環は高性能フィルターH EPAを通過し、ボックス内で自己浄化を実現します。 断熱材には厚さ100mmの120K高密度ケイ酸アルミニウム繊維断熱材を使用しています。 インポートされた温度コントローラーを使用し、温度制御精度0.3レベル、温度分解能±0.1度、PIDインテリジェント計算、自動恒温、過熱抑制、N2L超過警報、センサー断線警報、電源オフメモリ、正確な温度制御、簡単な操作、オプションのプログラム温度制御機能またはLCDスクリーンディスプレイ。


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