スライドRTPラピッドアニーリング炉を使用するための予防措置

1、操作前の準備
機器検査
冷却システムの水位（チラーなど）が正常であり、機器への高温損傷を避けるために循環できることを確認します{.
真空メンテナンスシステムのオイルレベルを確認して、真空度が標準（10°³Pa以下など）を満たしていることを確認してください.
ガス圧（窒素、水素など.）が、異常なガス圧によって引き起こされる実験的障害または危険を避けるための要件を満たしているかどうかを確認します{.
最初の使用または長期的な不使用の後、炉の割れを防ぐために、120度1時間300度で2時間焼く必要があります.

サンプル準備
サンプルをサンプルホルダーの中央に配置して、熱電対ワイヤが穴に正しく挿入され、温度センシング偏差.を避ける必要があります。
機器が過負荷にならないようにしてダメージを引き起こすのを防ぐために、過負荷や過負荷を避けないでください.

2、標準化された操作
温度上昇制御
コールド炉の起動：低温セクションの加熱速度は、炉の不均一な熱吸収や亀裂を避けて.}を避けるために（10度以下など）速すぎてはいけません。
高温制限：炉温度は、加熱要素または炉の裏地の損傷を防ぐために、定格値（1000度で3分、1200度で60秒など）を超えてはなりません.
プログラム編集：温度曲線が材料要件（窒素アニーリングなど）が5分間の窒素アニーリングなど）を満たすように、ソフトウェアを介して温度上昇、断熱、および冷却プログラムを設定します.

真空と大気制御
ターゲット圧力（0 {. 01Paなど）に掃除機をかけた後、窒素や水素などの保護ガスがプロセス要件に従って導入されます。
真空度が低下したら、耐熱性のシリコンリングまたはフランジのシーリングを確認し、必要に応じて.}を交換または再インストールします。

冷却制御
スライド炉体は急速な冷却を達成します：炉が設定された温度に加熱された後、自動的にサンプルエリアに移動し、冷却ガスがサンプルの表面に直接吹き付けられます（急速に冷却するときに70度に急速に冷却するときにガスを自動的にオフにするなど）.}
火傷や機器の損傷を防ぐために、高温でトレイラックを引っ張らないでください.

3、操作後のメンテナンス
クリーニングとメンテナンス
液体を炉に溶かしたり、炉をきれいにしたりしないでください.
アニーリング効果と機器の寿命に影響を及ぼさないように、定期的にきれいなほこりや汚れをきれいにします.

コンポーネント検査
加熱要素の接続ポイントが締められているかどうかを定期的に確認して、.の不十分な温度変動を防ぐ.
温度制御精度（E . g .±5度）.を確保するために、熱電対やピロメーターなどの温度測定成分の精度を確認します。

シャットダウンプロセス
炉の温度が100度を下回ったら、冷却装置をオフにし、真空システム.
逆プロセス操作によって引き起こされる機器の損傷を避けるために、ガスバルブと主電源を閉じます.

4、安全上の注意事項
高温保護
火傷や炉の割れを防ぐために炉の温度が300度以上の場合は炉のドアを開けないでください.
高温成分との直接接触を避けるために、サンプルを採取して配置するときに保護手袋を着用する{.

ガスの安全
水素などの可燃性ガスを使用する場合、漏れや爆発を防ぐためにガス経路のシールを確認してください.
ガスまたは冷却水アラームが発生したら、すぐに操作を停止し、システムを確認します.

緊急治療
プログラムが中断され、チャンバーが高温になった場合、操作前に冷却プログラムの手動冷却または編集が必要です.
不明なアラームに遭遇したら、管理者に連絡してください。承認なしに処理しないでください.