真空成膜装置の長期稼働後のメンテナンス手順

真空成膜装置の長期稼働後のメンテナンス手順

真空コーティング装置を6ヶ月以上連続して使用すると、真空コーティング装置の排気速度が著しく遅くなります。 それを維持するにはどうすればよいですか？ 真空成膜装置の長期稼働後のメンテナンスポイントを簡単に説明します。

まず、大気中に洗い流し、接続している水道管を取り外し、1段目のノズルをねじって外し、ポンプキャビティとポンプ胆嚢をガソリンで洗浄し、次に粉末洗剤で洗浄する必要があります。そして水。 水分が蒸発したら取り付けます。 ポンプを作動させ、新しく拡散したポンプオイルを補充し、本体に戻すと再起動できます。

真空電気めっきを再開するときは、漏れ検出作業に特別な注意を払う必要があります。 まず、拡散ポンプの真空度が 6*10PA に達しているかどうかを観察します。そうでない場合は、リーク検出を行う必要があります。

接合部にシールリングが取り付けられているか、シールリングが潰れていないか確認してください。

加熱は、空気漏れの隠れた危険性を取り除いた後にのみ行うことができます。そうしないと、拡散ポンプオイルがリングを焦がし、作動状態に入ることができません。

真空塗装装置のポンプを1ヶ月連続稼働させた場合、再度新しい油に交換し、ポンプ油内の古い油を完全に排出する必要があります。

その後、新しいポンプオイルを一定量注入します。 半年以上使用し続けた場合、真空ポンプオイルを交換する際にはオイルカバーを開け、ボックス内の汚れを布で拭き取ってください。

まず、真空ポンプを使用しないようにするか、真空ポンプを太陽の当たる場所に置かないようにしてください。 真空ポンプはできるだけ涼しい場所に保管してください。 真空ポンプを屋外に設置する場合は、真空ポンプが日光にさらされないよう注意してください。 真空ポンプ自体は稼働中は高温になります。 熱が逃げにくいと真空ポンプの温度が上昇します。 真空ポンプの温度がゼロに達すると、機械的な故障が発生します。

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