真空塗装機の環境要件:
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真空塗装機の環境要件:
真空コーティング装置は真空条件下で動作するため、真空環境の要件を満たしている必要があります。 Wu Guo が策定した各種真空コーティング装置の業界標準(真空コーティング装置、真空イオンコーティング装置、真空スパッタリングコーティング装置、真空蒸着コーティング装置の一般技術条件を含む)はすべて、環境要件を明確に規定しています。 真空コーティング装置の環境要件が満たされている場合にのみ、装置は正常に動作し、正しいコーティングプロセスを使用して認定されたコーティング製品を製造できます。
環境に対する真空の要件には、一般に、実験室 (または作業場) の温度に関する真空装置の要件、空気中の粒子などの周囲環境、および真空状態または真空にある部品または表面の要件が含まれます。 これら 2 つの側面は密接に関連しています。 周囲環境の質は、真空装置の通常の使用に直接影響します。 また、真空装置の真空チャンバーやそこに搭載されている部品を洗浄するかどうかは、装置の性能に直接影響します。 空気中に水蒸気や塵埃が多く含まれる場合、真空槽を清掃せずに油封式メカニカルポンプで排気しても期待通りの真空度を得ることが困難です。 周知のとおり、油封式機械ポンプは、金属を腐食し、真空油と反応する粒子状塵を含むガスの排出には適していません。 水蒸気は凝縮性気体です。 凝縮性ガスを多量に吐出すると、ポンプ油への汚染がさらに深刻になり、ポンプの到達真空度が低下し、ポンプの排気性能が破壊されます。
真空塗装機の一般的な汚染物質は次のとおりです。
1. グリースには、加工、組み立て、および操作中に汚染される潤滑剤、切削液、真空グリースなどが含まれます。
2. 作業中の手汗、送風時の水蒸気や唾液など。 酸、アルカリ、塩類を洗浄する際の残留物、手汗、水中のミネラル分など。 研磨残留物と周囲空気。 ほこりやその他の有機物。
これらの汚れを洗浄することで真空コーターの動作安定性が向上し、よりスムーズに作業を行うことができます。
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