真空電気めっき装置の膜外白霧の改善対策：
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真空電気めっき装置の膜外白霧の改善対策：
(1) フィルムシステムを改良し、外層にシリカを添加し、フィルムの表面を滑らかにし、吸着しにくくします。 レンズ外し時の環境改善（乾燥、清潔）
(II) カバーから出したレンズの温度を下げる（真空チャンバー内の冷却時間を延長する）ことで温度差を小さくし、応力を軽減します。
(iii) 酸素化を改善（増加）し、膜構造を改善します。
(iv) 蒸発速度を適切に低下させ、柱状構造を改善する
(v) 膜構造を改善するためのイオンアシストコーティング
(vi) ポリコールドが解凍されたら、小さな膨張バルブを追加します (その機能は、適時に水蒸気を取り除くことです)。
(vii) 蒸発源と治具からの蒸発角度を改善する方法を見つけます。
(VIII) 基板の表面粗さを改善する。
(ix) ポリコールドを解凍する際は真空度に注意してください。
真空電気めっき装置の膜の外側に白い霧が発生する原因はさらに複雑で、考えられる原因は次のとおりです。
① 膜構造の問題：外膜の柱状構造が緩く、外膜が粗すぎる。
②蒸着角が大きすぎて膜構造が粗い。
③温度差：レンズがカバーから出ているとき、レンズの内側と外側の温度差が大きすぎます。
④湿気。 レンズをカバーから外した後の環境内の湿気
⑤真空チャンバー内でポリコールドを解凍すると水蒸気が重くなりすぎます。
⑥ 蒸着時の酸素化が不完全で膜構造が不均一
⑦ 膜間応力
改善アイデア：膜外の白霧の原因はさまざまですが、それぞれに特徴があります。 適切な薬を処方するように努めてください。 主なアイデアは、吸着しにくい膜をより緻密かつ平滑にすることであり、2 つ目は環境を改善して吸着対象を減らすことです。
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