真空めっき装置の膜の白かぶり改善対策:
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真空めっき装置の膜の白かぶり改善対策:
(1) 膜システムを改善し、第 1 層にジルコニアを必要としません。
(2) 真空チャンバーの開放時間を最小限にし、真空チャンバーの洗浄やコーティング準備作業をフードとフードの間の最短時間で行ってください。
(3) ガードプレートを交換し、真空チャンバーを清掃した後は、空のフード内で真空引きし、ベーキングすることをお勧めします。 交換したガードプレートなどの真空チャンバー部品は、乾燥していて清潔である必要があります。
(iv) 環境の改善
(v) カバーに入る前に、傘のレンズを汚染から適切に保護してください。
(vi) 洗浄・拭き取り効果が向上します。
(vii) 膜のマッチングを改善する (最初の層に Al2O3 を考慮)
(viii) 膜酸素化と蒸発速度を改善する (減少させる)
(ix) プレエンジニアリングのプロセスをスピードアップします。 前回のプロジェクトで、加工された滑らかな表面の保護が強化されました。
(Xi) 研磨面は直ちに洗浄し、研磨粉やその他の不純物が付着・乾燥していないこと。
真空電気めっき装置の膜に白霧が発生する原因として考えられるもの
フィルム内に白い霧が発生し、拭いても取れません。
考えられる原因:
① 基板の汚れ、前工程の残留物
②レンズ表面の腐食・汚れ
③フィルム素材とフィルム素材、フィルム素材と基板のマッチング。
④酸化物の酸素化が不十分である。
⑤ 基板によっては、1層目のジルコニア膜により白ハローが発生する場合があります。
⑥ カバーに入る前(洗浄後)に基板が水分で汚れている
⑦ 洗浄・拭き取り不良、洗浄跡、拭き取り跡
⑧ 真空チャンバーが汚れていて、水蒸気が多すぎる
⑨ 周囲の湿度が高い
改善案:基材自体の問題が主な問題であり、コーティングでそれを可能な限り補うものであり、コーティング自体の最大の可能性はフィルム材質のマッチングの問題である。
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