単結晶炉サブチャンバーの清掃と設置

単結晶炉サブチャンバーの清掃と設置

1) 掃除棒、ペーパータオル、アルコールを用意します。

2) クリーニングロッドにアルコールを含ませたペーパータオルを巻き、副室内を上部まで汚れが無いことを確認するまで清掃します。

3) 種結晶チャックを素早く下げ、アルコールを含ませたペーパータオルで重いハンマーとモリブデンチャックを注意深くこすります。 必要に応じて、重いハンマーを取り外し、研磨布で注意深く磨いてきれいにします。 重いハンマーを外す際は、ワイヤーロープが跳ね上がって溝から外れないように注意して作業してください。 ワイヤーロープを掃除するときは、接合部の劣化や損傷がないか確認してください。 ワイヤーロープがある場合は、結晶引上げ時に単結晶が脱落するのを防ぐため、ワイヤーロープの一部を切断してください。 リフティングハンマーを所定の位置まで清掃します。 重いハンマーを持ち上げるときは、重いハンマーが副室の下端にぶら下がってワイヤーロープが切れるのを防ぐため、重いハンマーを振らないでください。

単結晶炉内での大型グラファイト部品の洗浄

1) 炉心管、保温カバー、ヒーター上端から落ちた残留物をダスティングブラシで取り除きます。

2) 絶縁カバーやヒーターの当たる部分を真空ブラシで丁寧に強力に掃除します。

3) ヒーターネジカバーを外し、電極ネジの緩み、接着剤の剥がれ、シリコンの付着等がないか確認してください。 緩みがある場合は増し締めする必要があります。 接着剤の落ちや粘着性のあるシリコンがある場合は、交換する必要があります。 次にヒーターネジカバーを閉めます。

4) 炉を解体するときに誤って熱場を移動または回転させた場合は、熱場が対称であるかどうかを確認し、温度測定穴を再校正する必要があります。 側面の温度穴がずれていると、測光信号に影響を及ぼし、ユーロメーターの値が小さくなりすぎ、炉内の温度を自動制御して結晶化することができなくなります。

5) 炉底部、炉底部のジャバラ、排気口などに付着したゴミや残留物をダスティングブラシで取り除きます。

6) 炉壁の上部をアルコールを含ませたペーパータオルで拭きます。

www.スーパービーター.com