真空コーターでのイオンコーティングへの革新的なアプローチ

真空コーターでのイオンコーティングへの革新的なアプローチ

真空コーティング装置のマルチアークイオンコーティングの革新的な方法、いわゆるマルチアークイオンコーティングは、めっきされる材料とめっきされる基板を室内に配置することです。 そして、メッキ基板の表面にスパッタリングを飛ばし、凝集させて膜を形成します。

マルチアークイオンコーティング法は、蒸着材料が基板に飛翔する過程での原子・分子間の衝突を軽減し、蒸着材料中の活性分子間の化学反応を軽減できる条件での成膜に多くの利点を持っています。ガスと蒸発源材料（酸化など）を調整し、成膜プロセス中に不純物となるガス分子の膜内への侵入量を低減し、膜層の密度、純度、成膜​​速度、密着性を向上させます。基板。

真空塗装機の真空漏れ検知のプロセス

まず、ワーク材料は加熱後に多かれ少なかれガスを発生し、外部から流入するガスと誤認する可能性があるため、仮想的なリークか本物のリークかを確認する必要があります。 、この状況は排除されなければなりません。 。

次に、真空チャンバーの気密性をテストして、気密性が要件を満たしていることを確認します。

第三に、漏れの大きさ、形状、位置、速度を確認し、解決策を準備して実行します。

第四に、検出機器の最小検出可能漏れ量と漏れ検出感度を決定し、最大範囲で空気漏れを検出し、一部の漏れが無視されることを回避し、漏れ検出の精度を向上させます。

第五に、漏れ検知装置の応答時間と消去時間を把握し、時間をよく把握し、漏れ検知装置が適切な位置で動作することを確認します。 時間が短いと確実に漏水検知効果は悪くなります。 時間が長いと漏れ検知ガス代や人件費、電気代が無駄になってしまいます。

第六に、漏れ穴の閉塞を避けることも必要です。 場合によっては、操作ミスにより、漏れ検出プロセス中に一部の塵や液体が漏れ穴を塞ぎ、この位置には漏れ穴がないと考えられますが、これらの詰まりが内外の圧力差によるものである場合があります。 他の理由により、漏れは遮断されず、漏れは依然として存在します。

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